Skenovací elektronový mikroskop (SEM) je možné použít pro analýzu částic v ovzduší (tzv. částicová analýza). Jedná se o doplňkovou metodu, která sice neumožňuje získat informace o absolutních hodnotách koncentrací částic v ovzduší, ale umožňuje získat informaci o jejich morfologii (tvaru a velikosti) a prvkovém složení včetně odhadu váhového procenta daného prvku v částici.
Hlavním cílem této metody tak je identifikace zdrojů daných částic, tedy identifikace potenciálního zdroje znečišťování ovzduší.
Velikost částice je jedním z faktorů, který napovídá o možném zdroji.
Částice ze spalovacích procesů bývají velmi malé, naopak například mechanicky vzniklé částice (eroze půdy, stavební a zemědělské práce apod.) bývají větší.
Tvar částice je jedním z faktorů, který napovídá o možném zdroji.
Částice ze spalovacích procesů bývají pravidelné (kulaté), naopak například mechanicky vzniklé částice (eroze půdy, stavební a zemědělské práce apod.) bývají nepravidelné.
Typický tvar mají také například částice sazí či pylů.
Obrovskou předností částicové analýzy je možnost zjišťovat zastoupení jednotlivých chemických prvků v jednotlivých částicích včetně odhadu jejich hmotnostního podílu.
Znalost prvkového složení a kombinace prvků v určité částici leccos napoví o jejím potenciálním zdroji.